uvled解膠機(jī)是一種將uv切割膜膠帶表面固化,從而完成晶圓芯片自動(dòng)解膠的光源固化設(shè)備,是一種冷光源led紫外線解膠固化燈。uvled解膠機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品為365nm波段的紫外固化設(shè)備,可根據(jù)客戶實(shí)際使用工況提供365nm、385nm、395nm和405nm波段的光源解膠機(jī)。主要應(yīng)用在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)加工過程中,在芯片劃片前,需要將晶圓用劃片膠膜固定在框架上,在進(jìn)行完劃片加工工藝后,這時(shí)需要用到紫外線光源對(duì)固定住的劃片膠膜進(jìn)行照射,使膠膜上的uv膠水完成固化,方便晶圓切片進(jìn)行后續(xù)的封裝工序?!?/span>
晶圓切片uvled脫膠機(jī)的優(yōu)勢目前市面上的uv解膠機(jī)大部分用的都是汞燈光源,在使用過程中會(huì)產(chǎn)生大量的熱,很容易對(duì)晶圓切片和其他熱敏材質(zhì)造成損壞,同時(shí)因?yàn)槭褂眯实?,?duì)產(chǎn)品質(zhì)量很難控制,非常不適合led芯片和高精密電子器材進(jìn)行表面固化。復(fù)坦希電子科技,采用單波段uvled紫外光源對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行低溫照射,被照射的物體表面升溫不超過5攝氏度,輕松完成晶圓加工行業(yè)的uv膠膜的脫膠工藝,對(duì)產(chǎn)品也不會(huì)產(chǎn)生傷害,極大的滿足了晶圓加工的生產(chǎn)需求。